涡旋真空泵的概述和特点

涡旋真空泵是从涡旋压缩机发展而来的新型干式真空泵。其特点：①间隙小，泄漏少，压缩比高，在宽工作压力范围内抽速稳定。 ②工作压力范围广。由于压缩室容积的变化是连续的，因此驱动转矩和动力的变化较小。 ③由于动，静涡流形成的工作室是对称的，泵的结构简单，零件少，因此工作稳定，振动小，噪音低，工作可靠性高。 ④涡流剖面从恒定横截面到可变横截面进行了优化，这大大提高了抽气的能力。 ⑤可以在大气压（10 ^ 5Pa）下启动，可以在大气压下独立工作。 ⑥不会对抽出的容器造成污染，可以抽出可凝性气体。主要部件由复合高分子材料制成，可以去除腐蚀性气体。由于涡旋真空泵的优越性能，作为一种新型的无油真空泵，在国内外的真空行业中受到越来越多的关注。涡旋泵的基本结构（如图3-86所示，主要包括左定子，右定子，转子，曲轴，防旋转机构，进气口，排气口等）。在新月形腔中，涡流定子固定在框架的外围，进气口在涡流定子的外围开口，排气口在转子和定子涡旋体的中心部分开口。涡旋转子随动。曲轴的旋转就像偏心量Ror一样，其半径围绕定子的中心。涡旋转子也受防转机构的约束，无法旋转。它始终保持固定的姿态，其中心围绕涡流定子的中心成半径。这是Ror的圆周运动。